超聲波(bō)清(qīng)洗技術(shù)經(jīng)过(guò)幾(jǐ)十(shí)年(nián)的(de)理(lǐ)論实踐,在(zài)工藝和(hé)設備上(shàng)都得到(dào)了(le)很大(dà)的(de)發(fà)展(zhǎn),不(bù)仅研發(fà)了(le)大(dà)批新産品,也(yě)制訂了(le)更(gèng)为(wèi)先(xiān)進(jìn)的(de)清(qīng)洗工藝。
半導體(tǐ)矽片(piàn)、太陽能(néng)電(diàn)池矽片(piàn)表(biǎo)面(miàn)的(de)超微污物(wù)粒(lì)子,如(rú)采用(yòng)低(dī)頻超聲波(bō),即使矽片(piàn)擊碎,粒(lì)子依然附着其(qí)上(shàng),越是(shì)增加功率密度(dù)也(yě)沒(méi)任何效果(guǒ)。近(jìn)来(lái)發(fà)展(zhǎn)起(qǐ)来(lái)的(de)兆(zhào)赫高(gāo)頻超聲清(qīng)洗,其(qí)超聲頻率髙,实際上(shàng)已不(bù)再是(shì)産生(shēng)空(kōng)化(huà)气(qì)泡,而(ér)是(shì)高(gāo)頻压力波(bō)的(de)擦洗作(zuò)用(yòng),对(duì)污物(wù)的(de)清(qīng)除率也(yě)接近(jìn)百(bǎi)分(fēn)之百(bǎi),並(bìng)且对(duì)矽片(piàn)損傷微乎其(qí)微。因(yīn)此(cǐ)近(jìn)来(lái)發(fà)展(zhǎn)較快(kuài),雖(suī)然造價昂貴,但矽晶圆(yuán)太陽能(néng)行業仍趨之若鹜。
化(huà)纖行業使用(yòng)的(de)噴丝(sī)闆、其(qí)上(shàng)面(miàn)密密麻(má)麻(má)的(de)微细(xì)孔,以(yǐ)前(qián)恐怕只(zhī)有(yǒu)人(rén)工用(yòng)细(xì)針(zhēn)来(lái)捅穿堵塞物(wù),即使采用(yòng)常規的(de)超聲清(qīng)洗效果(guǒ)也(yě)不(bù)理(lǐ)想(xiǎng),主(zhǔ)要(yào)是(shì)聲強(qiáng)达(dá)不(bù)到(dào)要(yào)求,而(ér)采用(yòng)機(jī)械掃描聚焦式超聲清(qīng)洗,达(dá)到(dào)較高(gāo)的(de)聲強(qiáng),在(zài)間(jiān)隙脈沖狀态下(xià),空(kōng)化(huà)泡高(gāo)密度(dù)的(de)轰擊,噴丝(sī)闆微孔內(nèi)的(de)污物(wù)脫離,达(dá)到(dào)清(qīng)理(lǐ)殘留物(wù)的(de)效果(guǒ)。
在(zài)一(yī)台(tái)超聲波(bō)清(qīng)洗機(jī)槽體(tǐ)內(nèi),安(ān)装两(liǎng)組或(huò)三(sān)組以(yǐ)上(shàng)不(bù)同(tóng)超聲頻率的(de)換能(néng)器,由(yóu)多(duō)台(tái)超聲波(bō)發(fà)生(shēng)器分(fēn)别推動(dòng)各(gè)自(zì)頻率的(de)換能(néng)器,超聲波(bō)清(qīng)洗的(de)頻率高(gāo),在(zài)液體(tǐ)中(zhōng)的(de)空(kōng)化(huà)密度(dù)大(dà)但空(kōng)化(huà)強(qiáng)度(dù)低(dī),而(ér)超聲波(bō)清(qīng)洗的(de)頻率低(dī)则正好(hǎo)相反(fǎn),空(kōng)化(huà)密度(dù)小但空(kōng)化(huà)強(qiáng)度(dù)高(gāo),由(yóu)于(yú)低(dī)頻超聲波(bō)的(de)強(qiáng)度(dù)高(gāo),有(yǒu)利于(yú)物(wù)體(tǐ)表(biǎo)面(miàn)清(qīng)洗,高(gāo)頻超聲波(bō)空(kōng)化(huà)密度(dù)高(gāo),穿透细(xì)孔、缝隙、凹槽結構的(de)能(néng)力強(qiáng)。因(yīn)此(cǐ)在(zài)一(yī)台(tái)中(zhōng)應(yìng)用(yòng)多(duō)種(zhǒng)頻率的(de)超聲波(bō),就(jiù)解(jiě)決了(le)一(yī)个(gè)頻率因(yīn)駐波(bō)场(chǎng)造成的(de)清(qīng)洗不(bù)均勻問(wèn)題(tí)。
掃頻清(qīng)洗和(hé)跳頻清(qīng)洗都是(shì)为(wèi)了(le)改善清(qīng)洗槽中(zhōng)的(de)聲场(chǎng)結構,掃頻清(qīng)洗解(jiě)決了(le)清(qīng)洗槽的(de)駐波(bō)场(chǎng),使清(qīng)洗更(gèng)均勻;而(ér)跳頻和(hé)多(duō)頻一(yī)樣(yàng)兼顧到(dào)高(gāo)低(dī)頻清(qīng)洗,不(bù)同(tóng)的(de)是(shì)跳頻用(yòng)的(de)是(shì)一(yī)个(gè)換能(néng)器和(hé)一(yī)个(gè)發(fà)生(shēng)器,其(qí)換能(néng)器本身(shēn)具有(yǒu)两(liǎng)个(gè)或(huò)多(duō)个(gè)諧振頻率,在(zài)第(dì)一(yī)諧振點(diǎn)带(dài)宽(kuān)內(nèi)作(zuò)連(lián)續的(de)頻率變(biàn)化(huà),然後(hòu)跳到(dào)另(lìng)一(yī)带(dài)宽(kuān)內(nèi)進(jìn)行掃頻清(qīng)洗,属于(yú)高(gāo)中(zhōng)低(dī)頻交替進(jìn)行的(de)清(qīng)洗方(fāng)式,这就(jiù)是(shì)实現(xiàn)一(yī)台(tái)超聲波(bō)發(fà)生(shēng)器驅動(dòng)一(yī)種(zhǒng)換能(néng)器的(de)多(duō)種(zhǒng)頻率,並(bìng)可(kě)实現(xiàn)頻率自(zì)由(yóu)切(qiè)換。